光刻机概念股的龙头股包括芯源微（688037），清溢光电（688138）和华特气体（688268）
芯源微（688037）是一家龙头公司，在营业总收入方面，从2017年到2020年，分别为1.9亿元、2.1亿元、2.13亿元、3.29亿元。该公司主要从事半导体设备开发研制。
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