光刻机概念股的龙头股包括芯源微（688037），清溢光电（688138）和华特气体（688268）
芯源微（688037）是一家龙头公司，在营业总收入方面，从2017年到2020年，分别为1.9亿元、2.1亿元、2.13亿元、3.29亿元。该公司主要从事半导体设备开发研制。
清溢光电（688138）也是一家龙头公司，在营业总收入方面，从2017年到2020年，分别为3.19亿元、4.07亿元、4.8亿元、4.87亿元。
华特气体（688268）是一家龙头公司，在营业总收入方面，从2017年到2020年，分别为7.87亿元、8.18亿元、8.44亿元、10亿元。该公司是国内光刻气龙头；中国特种气体国产化的先行者；目前国内8寸以上集成电路制造商超过80%的客户覆盖率；Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne和Kr/F/Ne等4种混合气于17年通过全球最大的光刻机供应商ASML的产品认证，截至目前是国内唯一通过ASML认证的气体公司，亦是全球仅有的上述4个产品全部通过其认证的四家气体公司之一；高纯锗烷自19年底取得海力士的认证后，20年起已有订单供给海力士，且该产品已进入韩国三星的认证中。
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